主页 配方 参数设置 维护 监控 系统设置 手动操作 标定与校准 当前状态: 设备状态 【{0}】 自动运行 (AUTO) 手动调试 (MANUAL) 设备维护 (MAINT) 配方编辑 (RECIPE) 参数设置 (SETUP) 标定校准 (CALIB) 状态待定 (PENDING) 方片载具 产品参数 方片参数 工艺参数 轴位置 运行参数 气压阈值 载台物流组 刺晶头组 方片平台组 方片供料组 龙门组 设备维护 标准板测试 焊盘位置确认 标准测试 刺晶头维护 刺晶头校正 设备基准高度标定 版本管理 IO状态 轴状态 流程状态 TT统计 数据分析 周期保养 控制器监控 气压状态 WS中心校验 视觉标定 相机标定 轴系零点标定 图像 保存配置 全部复位 一键写入控制器 模块 独立 避让 避让配置 (SAFE) 添加避让轴 轴名称 示教避让位置 删除该轴 标定轴 示教点 实际位置 偏差 状态 示教点位 开始标定 写入控制器 模块设置 相机畸变标定 运动系标置 运动系WS标定 运动系角度标置 旋转中心标定 WS干涉中心标定 相机融合标定 测距仪相机标置 物流设置 PLC轴设置 厂商设置 控制参数设置 PID设置 速度规划 刺晶头运动设置 老化测试 生成文件 日志测试 ID 结果验证 开始 停止 模版制作 视觉参数设置 获取当前位置 移动到此位置 相机参数 光源设置 参数获取 工具箱 主轴回零 基础设置 描述 启用 配方列表 打开 应用 新建 复制 重命名 清空 删除 添加 导入 导出 保存 新建配方 重命名配方 物流设置 载具信息 基板信息 芯片信息 基板设置 载具长度(mm): 载具宽度(mm): 载具厚度(mm): 基板长度(mm): 基板宽度(mm): 基板厚度(mm): 基板行数(mm): 基板列数(mm): 像素X间距(mm): 像素Y间距(mm): 像素长度(mm): 像素宽度(mm): 基板配方 芯片配方选择 芯片配方 芯片SizeX(mm): 芯片SizeY(mm): 芯片X间距(mm): 芯片Y间距(mm): 芯片种类: 基板坐标偏移X 基板坐标偏移Y Wafer长度(mm): Wafer宽度(mm): 膜厚(mm): Wafer行数(mm): Wafer列数(mm): 视觉相机未找到,请检查硬件配置。 视觉相机未打开,请先打开相机。 视觉相机未处于抓流状态,请先准备抓流。 视觉采图超时,请检查触发与图像流状态。 视觉采图未返回图像帧。 视觉软触发执行失败。 视觉驱动执行失败,请检查驱动和相机状态。 视觉图像对象为空。 视觉请求参数无效。 视觉超时参数无效。 视觉操作已取消。 视觉模板路径不能为空。 视觉 ROI 参数无效。 视觉模板 MinScore 参数无效。 视觉模板算法尚未实现。 视觉模板匹配失败。 视觉通用算法类型不受支持。 视觉通用算法执行失败。 芯片 Map 排序输入无效。 打开视觉模板制作窗口失败:{0} 未找到轴:{0} 读取位置失败:{0} 移动失败:{0} 删除轴失败:{0} 当前标定中,不能删除轴。 标定已取消。 标定失败:{0} 控制器偏移写入接口尚未实现,未执行任何写入。 原点标定配置已保存。 保存原点标定配置失败:{0} 没有可写入的已标定模块。 已将所有模块数据写入控制器。 控制器写入接口尚未接入,本次未执行任何写入。 部分模块写入成功,已写入 {0}/{1} 个模块。 请先选择一个 PID 配置组。 请先选择一个滤波参数行。 读取成功。 读取失败,请检查日志与设备状态。 写入成功。 写入失败,请检查日志与设备状态。 点红光: 点蓝光: 环红光: 环蓝光: 红背光: 坐标示教 移动到此位置 移动 基板定位 定位结果 基准X 基准Y 结果X 结果Y 基板行号: 基板列号: 基板角度 基板Map 允许点击选择 测高摘要 当前基板配方: 测高模式: 配置点位数: 已测点位数: 测高结果 点位名称 行号 列号 位置 X 位置 Y 测高值 标准示教位置 行列坐标 + 偏移补偿 复检摘要 复检区域 复检区域设置 当前复检点数: 当前显示点数: 当前复检点位 功能分组 1. 设置全局阈值参数 (mm) X 轴阈值设定 Y 轴阈值设定 2. 选择筛选规则 仅显示漏固 仅显示 X、Y 同时超阈值 仅显示 X 轴超过当前阈值 仅显示 Y 轴超过当前阈值 移动到复检点 重置筛选 序号 基板行 基板列 芯片行 芯片列 基板 X 基板 Y 芯片 X 芯片 Y X 偏差 Y 偏差 状态 路径类型 请先选中一个复检点位。 当前相机轴设备未就绪,无法移动到选中复检点。 OK 漏固 X超差({0:F4}) Y超差({0:F4}) Mark模版 添加Mark点 删除Mark点 Mark示教与理论点位 将示教操作与理论点位管理拆分到不同页签,减少跨任务切换负担。 Mark示教 理论点位 用于配置视觉参数、制作模板并维护示教点位。 示教操作 基准示教 Base X Base Y Camera X Camera Y 模板名称 建议先完成模板制作与视觉参数配置,再对 Mark 点进行增删、示教和复核。 理论数据源 以下参数直接读取当前基板信息,用作理论点位生成和导入校验的依据。 点位操作 可根据当前基板信息生成规则点位,也可从 CSV 导入整板理论坐标。 结果摘要 生成或导入后可先查看点位数量,再打开预览窗口核对详情。 说明 Pitch X Pitch Y Rows Cols 基板信息生成 导入坐标 CSV 清空点位 点击“预览点位”可在独立窗口中查看完整点位列表。导入 CSV 时需包含 Row、Col、TheoryX、TheoryY 列,若与基板信息不匹配,会提示是否继续导入。 提示:生成后的点位数据会保存在当前基板配方中。 预览点位 点位预览 当前点位数量 点位数据详情 / Data Details 当前显示点数: 请点击“生成”或“导入”按钮以加载点位数据 序号 点位名称 行 (Row) 列 (Col) 理论 X 理论 Y 关闭 序号 点位名称 理论 X 理论 Y 该窗口仅用于查看生成或导入后的理论点位,不会修改原始数据。 提示 警告 错误 确认 发生未知错误,请检查日志信息。 操作成功。 操作失败。 保存成功。 保存失败。 是否保存轴软限位设置? 保存轴软限位设置失败:{0} 加载轴软限位设置失败:{0} 轴 {0} 的正软限位不能小于负软限位。 轴 {0} 的软限位已下发到底层控制器。 轴 {0} 的软限位下发失败:{1} 已成功下发全部轴软限位,共 {0} 轴。 下发全部轴软限位失败:{0} 当前没有可下发的轴软限位数据。 请先选择一条轴软限位数据。 确认删除当前数据吗? 确认退出当前页面吗? 设备未初始化,请先完成初始化操作。 设备忙碌中,请稍后再试。 设备连接已断开,请检查硬件或通讯状态。 设备未回零,请先执行回零操作。 参数无效,请检查输入内容。 参数不能为空。 参数超出允许范围,请重新输入。 确认启动当前流程吗? 流程启动失败,请检查前置条件和设备状态。 当前流程正在运行,确认停止吗? 流程停止失败,请稍后重试或检查运行状态。 流程失败。 流程失败:{0} 步骤 [{0}] 执行失败:{1} 基板定位失败:{0} 未加载基板配方,请先加载配方。 基板 Mark 参数未配置,请检查配方。 当前配方中没有启用的基板 Mark 点,请检查配方设置。 基板 Mark 点 [{0}] 对齐失败:{1} 芯片定位失败:{0} 芯片定位失败,当前未加载基板配方。 芯片定位失败,未找到可用的芯片理论坐标。 芯片定位失败,当前晶圆配方中的行列或 Pitch 参数无效,请检查晶圆配方。 未能加载对刀参数。 对刀次数必须大于 0。 对刀完成。 对刀已停止。 操作已取消。 芯片拉直 芯片角度 芯片定位 统计结果 总芯片数量: 合格占比: OK芯片数量: NG芯片数量: X方向平均间距: Y方向平均间距: 芯片Map 激光补偿参数 起始位 步距 步距次数 跳程 循环次数 延时(s) 执行控制 轨迹顺序:预备位 -> 正向测量点 -> 过冲位 -> 反向测量点 -> 预备位 执行状态 当前循环 当前点位 当前目标 程序运行时会按:预备位 -> 测量点正向 -> 过冲位 -> 测量点反向 -> 预备位 的序列执行绝对运动,并在每个点位到位后进行异步延时。 运行期间界面仅保留停止按钮可用,便于快速中断。 方片角度调整 方片拉直结果 转移设置 转移路径 基板区域 芯片区域 生成设置 生成模式: 基板行方向: 晶圆行方向: 自动计算芯片: 序号 基板行 基板列 晶圆行 晶圆列 类型 移动到芯片 移动到焊盘 芯片对齐焊盘 生成转移路径 流程控制 转移控制 阈值参数 流程参数设置 速度参数 全局运行参数 产品上料 产品下料 产品定位 产品高度测量 方片上料 方片下料 方片拉直 晶粒飞拍 转移作业 复检 流程控制 定位阈值 拉直阈值 飞拍策略 转移路径策略 转移工艺参数 自适应快打参数 启用产品上料 启用产品下料 启用产品定位 启用高度测量流程 启用高度测量 启用方片上料 启用方片下料 启用方片拉直 启用晶粒飞拍 启用转移作业 启用复检流程 X方向 芯片扫描模式: Z型扫描 点位优化 基板路径模式: 区域换行模式: 晶圆换行模式: 是否按区域打件: 区域模式 基板S形 基板X反向 基板Y反向 晶圆S形 晶圆X反向 晶圆Y反向 按Y方向补打 每行快打率: 产品数量: 假点数量: 晶粒100%消耗: 全程气冷: 启用 自适应频率 小区域快打 小区域降频 小区域列数阈值: 小区域快打频率: 1档频率: 2档频率: 1档阈值: 2档阈值: 速度设置 速度模式 修改单条数据 修改所有数据 修改龙门数据 轴名称 速度 加速度 减速度 加加速度 高速 中速 低速 方片相关位置 基板相关位置 料盒参数 轴参数设置 轴软限位设置 配置文件 控制卡名称 卡号 轴号 负软限位 正软限位 设定所有轴 设定 保存设置 相机参数 其他参数 相机视场角 FovX FovY 文件相关保存设置 图片相关保存设置 启用保存 保存路径 浏览 按日期创建文件夹 保存上相机图片 保存下相机图片 保存Map相机图片 测距仪 测距显示值 置零 获取当前值 基板扫码枪 方片扫码枪 风机转速 关闭 复检设置 不规则复检 生产检测 整机老化 晶粒飞拍设置 方片拉直设置 晶粒角度阈值X: 拉直方向X: Die异常点阈值: 标识距离偏差: 测高补偿界限: PCB角度阈值: 换料产品定位: 其他流程设置 全局运行功能 运行模式设置 对刀检查: 基板高度测量 测高补偿: 飞拍PID切换: Mes启用: 对刀检查数量: Mark复检: 固重检测: 单次拉直定位: 单次芯片定位: 波长检查启用: 针是否抬高 是否快打 是否补打 打件设置 晶粒厚度(mm): SZ标定高度: StagePlatform标定高度: 龙门2避让位: 读取当前位置 移动到位 激光打对刀仪测量点: 高度测量 方片高度测量 序号 X(mm) Y(mm) Z(mm) Height(mm) Gap2 StagePlatform基准高度: 刺晶头接触到方片高度: 激光与刺晶头偏差: 计算 系统提示