1、die融合标定（ws圆形标定融合）
即在X1全行程不同位置，标定建立X2,Y1的die融合表，用于对位晶粒，使得晶粒可以通过X2,Y1的补偿移动到任意X1位置下(此时对位是Y1位置微动变化)。
标定方法
- 在die运动系下(固定X1)，移动X2,Y1扫描获取N×N点阵，作为初始位置。
- 选取X2负限位位置附近设置起始位置，将X1,X2平移相同距离移动到起始位置，设定标定范围，标定间隔，扫描一系列N×N点阵，保存为die融合位置表。
验证方法
在die运动系下飞拍任意坐标，再选取任意X1位置，使用融合位置表计算出任意坐标移动到该X11位置下的X2Y1坐标，同时获取到在该X11位置下实际逼近的X2Y1坐标，输出即为标定误差。可选择若干位置覆盖测试全行程误差
2、pad融合标定（stage拼接融合）
即在Y1全行程不同位置，建立X1,Y2的pad融合表，用于对位pad，使得产品pad在获取到运动系X1,Y2坐标后，可以移动到任意Y1位置下(此时对位是X1位置微动变化)。
标定方法
- 在pad运动系下(固定Y1)，移动X1,Y2扫描获取N×N点阵，作为初始位置。
- 选取Y2负限位位置附近设置起始位置，将Y1,Y2平移相同距离移动到起始位置，设立标定范围，标定间隔，扫描一系列N×N点阵，保存为pad融合位置表。
验证方法
在pad运动系下飞拍任意坐标，再选取任意Y1位置，使用融合位置表计算出任意坐标移动到该Y11位置下的X1Y2坐标，同时获取到在该Y11位置下实际逼近的X1Y2坐标，输出即为标定误差。可选择若干位置覆盖测试全行程误差。
3、整体验证
整体对位流程为:飞拍获取对应die的下相机X2,Y2坐标，X1坐标固定（上相机die运动系X2Y1），转换为X1,Y1坐标 。pad定位mark获取X1,Y2坐标，Y1坐标固定（上相机pad运动系X1Y2），即转化为X1,Y1坐标 。
此时通过查找die融合表将dieX方向对齐pad(此时Y1会产生少许偏移)，再根据此时Y1值，将padY方向对齐die，(X1会产生少许偏移)，此时再移动X2跟上X1的移动量(此处直接移动或查表再移动)。